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荷兰出版,ISSN: 0167-9317,1983年创刊,全年20期,由Elsevier Science出版社出版。该期刊被SCI和EI收录,2005年SCI影响因子为1.347,EI收录446篇论文。报道与微电子元件生产、加工、检测有关的原材料、方法、工艺及设计方面的进展。9. Microelectronics Journal(微电子学...
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